AccufiberTR

   LumaSense AccuFiberTR은 자동적인 Emissivity 값의 보정과 함께,

    온도의 측정이 가능하며 웨이퍼 표면의 deposition 또는 processing의

    의 타입에 따라 Emissivity 값이 달라진다. 즉 Emissivity의 값은 

    deposition된 웨이퍼 표면의 반사율(Reflectance)로 계산되어진다.

   사용도

   Thin film deposition rate monitoring during high temperature CVD,     MOCVD and MBE processes

   Accurate temperature monitoring/control of the susceptor, stage,     or chuck during high temperature deposition or processing

   Temperature monitoring/control of fast moving or spinning

    substrates during thin film deposition or rapid thermal processing

   사  양

   High sampling rate (up to 1000Hz)
   Lowest signal to noise ratio
   Easy to use touch screen controls